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소액기술

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테라헤르츠파를 송수신하기 위한 안테나 모듈 및 실시간 테라헤르츠 이미징을 위한 초점면 배열 구조체

테라헤르츠파를 송수신하기 위한 안테나 모듈은 테라헤르츠파를 송신 또는 수신하는 방사패치와, 상기 방사패치와 이격되어 위치하며 홀(hole)을 포함하는 제 1 그라운드를 가지는 안테나와, 상기 안테나의 아래에 위치하며, 상기 테라헤르츠파를 생성하거나 상기 수신된 테라헤르츠파를 처리하는 신호 처리부를 가지는 집적회로 기판 및 상기 홀(hole)을 통과하며, 상기 방사패치와 상기 신호 처리부를 연결하는 비아(via)를 포함할 수 있다.

  • 전자/전기
  • 한국과학기술원
  • 양도
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탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 및 이를 이용한 검사 방법

본 발명은 전자 현미경에 대한 것으로서 특히 진공 챔버를 탈부착 가능하게 설치하여 검사 대상이 되는 시편의 크기가 큰 경우에도 필요에 따라 이동하여 검사할 수 있도록 하여 종래보다 사용상의 편의성이 증진되는 탈 부착 방식의 진공 챔버 유닛을 구비한 전자 현미경 및 이를 이용한 검사 방법에 대한 것

  • 기타
  • 한국기계연구원
  • 양도
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