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우수기술

다공성 돌출 패턴을 가지는 연마패드
분야
기계

다공성 돌출 패턴을 가지는 연마패드

보유기관 및 연구자 : 한국생산기술연구원 김형재

개발상태
7/9

기술완성도

TRL09

사업화

  • 본격적인 양산 및 사업화 단계
TRL08

시작품 인증/
표준화

  • 일부 시제품의 인증 및 인허가 취득 단계
    - 조선 기자재의 경우 선급기관 인증, 의약품의 경우 식약청의 품목 허가 등
TRL07

Pilot 단계 시작품
신뢰성 평가

  • 시작품의 신뢰성 평가
  • 실제 환경(수요기업)에서 성능 검증이 이루어지는 단계
TRL06

Pilot 단계 시작품
성능 평가

  • 경제성(생산성)을 고려한, 파일로트 규모의 시작품 제작 및 평가
  • 시작품 성능평가
TRL05

시제품 제작/
성능평가

  • 개발한 부품/시스템의 시작품(Prototype) 제작 및 성능 평가
  • 경제성(생산성)을 고려하지 않고, 우수한 시작품을 1개~수개 미만으로 개발
TRL04

연구실 규모의
부품/시스템 성능평가

  • 연구실 규모의 부품/시스템 성능 평가가 완료된 단계
  • 실용화를 위한 핵심요소기술 확보
TRL03

연구실 규모의
성능 검증

  • 연구실/실험실 규모의 환경에서 기본 성능이 검증될 수 있는 단계
  • 개발하려는 시스템/부품의 기본 설계도면을 확보하는 단계
  • 모델링/설계기술 확보
TRL02

실용 목적의 아이디어/
특허 등 개념 정립

  • 실용 목적의 아이디어, 특허 등 개념 정립
TRL01

기초 이론/
실험

  • 연구과제 탐색 및 기회 발굴 단계
특허정보
  • CMP 설비용 컨디셔닝 장치의 디스크 결합체 (No : 10-2018-0153441)
  • 웨이퍼용 화학기계연마장치의 패드부 (No : 10-2018-0151206)
  • 웨이퍼용 화학기계연마장치 및 이의 희생부 위치 제어 방법 (No : 10-2018-0151218)
  • 웨이퍼용 화학기계연마장치의 패드부 교체 시기 결정 장치 및 이의 제어 방법 (No : 10-2018-0151193)
  • 연마패드에 대한 가압력 조절이 가능한 씨엠피장치의 컨디셔너 (No : 10-2018-0061528)

기술개요

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연구자 정보